PEEK晶圓載具-peek零件加工
晶圓載具顧名思義就是用來(lái)裝載晶圓，有晶圓承載盒、晶圓傳送盒、晶舟等。晶圓存放在運(yùn)輸盒內(nèi)的時(shí)間在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中占比很高，晶圓盒本身的材質(zhì)、質(zhì)量和干凈與否都可能會(huì)對(duì)晶圓質(zhì)量產(chǎn)生或大或小的影響。
晶圓載具一般采用耐溫、機(jī)械性能優(yōu)異、尺寸穩(wěn)定性以及堅(jiān)固耐用、防靜電、低釋氣、低析出、可回收再利用的材料，不同制程采用的晶圓載具所選用的材質(zhì)有所不同。
PEEK可用于制作一般傳輸制程用載具，一般采用抗靜電PEEK，PEEK擁有眾多優(yōu)異性能，耐磨性、耐化學(xué)腐蝕性、尺寸穩(wěn)定性、抗靜電性和低脫氣，有助于防止顆粒污染并提高晶圓搬運(yùn)、存儲(chǔ)和轉(zhuǎn)移的可靠性。