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PEEK注塑零件:在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用


peek主推圖11

特種工程塑料精密注塑加工成型的PEEK注塑零件在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用前景廣闊。通常用來(lái)制造CMP 研磨環(huán)、PEEK晶圓承載器、PEEK晶圓夾具,peek注塑件具有的耐熱性、耐磨性、耐疲勞性、耐輻照性、耐化學(xué)品性、尺寸穩(wěn)定等特性顯著優(yōu)異于其他特種工程塑料。

 peek主推圖22

半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)在化學(xué)環(huán)境中常使用PEEK緊固件,因?yàn)樵囼?yàn)環(huán)境中有大量的氫氟酸,這是一種腐蝕性化學(xué)物質(zhì),對(duì)金屬有極強(qiáng)的破壞性,由peek注塑加工成型的peek螺絲可以有效解決這一問(wèn)題。

 

peek注塑件的優(yōu)異特性:

1. 對(duì)有機(jī)物、酸和堿具有優(yōu)異的耐化學(xué)性

2. 超過(guò) 250℃ 時(shí)仍具有高的機(jī)械強(qiáng)度

3. 非常好的耐磨損性和耐磨性

4. 低的線性熱膨脹系數(shù)和高的極限PV特性

5. 同類最好的耐疲勞性

6. 優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性

7. 在沸水和過(guò)熱蒸汽中具有優(yōu)異的耐水解性

8. 具有優(yōu)異的介電特性,在高溫和高頻下的損耗低

9. 易于加工



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